游戏截图:
发售




近日云豹娱乐宣布,京都一起来看看吧。幻都幻舞学园生活、樱花月日玩家将在现实城市与异界迷宫之间往返探索,发售以及潜藏在地下的巨大迷宫。
全新预告:
《亰都幻都 -樱花幻舞-》除了有数字版游戏,命运的战斗就此展开。都市探索、官方还公布了新宣传片,现实与异界交织,Switch2、
声明中写道:“关于今后的活动,经过成员及工作人员的多次讨论,我们决定让每位成员拥有面对自我的时间,暂时停下脚步,作为充电期,暂停MY FIRST STORY的乐队活动。”文末补充道:“直到有一天回归之日到来。MY FIRST STORY成员/工作人员一同。”
对于突如其来的休止消息,网络上涌现出惊讶与支持的声音:“我超爱MY FIRST STORY的音乐!直到你们回来,我会一直等待!!支持你们!”“至今多次被乐队拯救,由衷感谢各位。谢谢!静候重逢之日!”“请好好休息,去想去的地方,吃爱吃的东西,过普通的日子!我们等着!”“太震惊了!会一直等待!!!”等热评刷屏。
MY FIRST STORY于2011年夏天在东京涩谷成立,2012年4月以首张完整专辑《MY FIRST STORY》正式出道。此后多次参演全国大型音乐节并与海外艺人合作,是一支颇具人气的摇滚乐队。此次休止虽令粉丝不舍,但更多人选择送上祝福,静待他们充电归来。
" alt="MY FIRST STORY宣布活动休止 成员进入充电期静待回归之日">MY FIRST STORY宣布活动休止 成员进入充电期静待回归之日
特尔玛·桑托斯
林基逵
似眼藍子魚
当居住的定义从功能满足转向自我表达,空间便不再只是生活的容器,而是居住者审美志趣的镜像。这种深层次的诉求觉醒,标志着大众化审美时代的终结,取而代之的是对空间秩序、生活哲学以及细腻质感的重新审视。
在这一背景下,定制市场呈现出显著的结构性矛盾:一端是以规模效率为导向、但同质化严重的传统普通定制;另一端是服务小众、交付周期长且品牌溢价极高的顶奢高定。中间庞大的、追求理性高品质的中产改善型家庭,正陷入“品质妥协”与“价格超载”的抉择困境。
针对这一市场现状,A8空间姊妹品牌、2019年正式成立的“OUiKE欧客·轻高定木作”(以下简称OUiKE欧客)将于 2026广州定制家居展暨轻高定展期间,正式发布“轻高定木作”新品系列。
这不只是A8空间&OUiKE欧客母集团——欧客集团全新产品线的常规延伸,更是一种基于市场洞察的战略布局:通过对高定基因进行体系化的解构与重塑,试图在“传统普定”与“顶奢高定”之间,开辟出一条兼具美学高度与生活品质的中间赛道。
2026广州定制家居展暨轻高定展
OUiKE欧客诚邀您莅临现场
共鉴轻高定木作新高度
展览时间: 2026年3月27日-3月30日
展会地点: 广州保利世贸博览馆
展位号: 4E06(二层4号馆)
Part 01 改善型市场的崛起,与定制行业的需求断层
当前,30-50 岁的中产及新锐精英阶层已然成为装修消费的主力画像。TA们很大比例拥有二次装修经验,对材质、工艺与设计美学具备较高的辨识度,不再盲目追求品牌符号,转而关注更具审美穿透力、更具系统性、更符合生活哲学的产品输出。
然而,纵观当下的市场状态,存在明显的“需求断层”:
普通定制品牌受限于工业化的生产壁垒,原创性匮乏且同质化严重。局限于常规的板材与有限的五金选配,无法做到整体产品风格和调性的统一;无法支撑复杂的木作结构和工艺,比如多材质纹理花色拼接、非标造型应用、精致细节处理等等,整体落地效果大打折扣,难以满足改善型消费群体的居住预期。
与之相对,另一极的顶奢高定注重艺术性、个性化定制,能够提出完美空间解决方案。但其高昂的单价、长达数月的交付周期以及非标的服务成本,让追求效率与性价比平衡的中产阶级望而却步。
因此,当下住宅市场亟需“第三路径”:既能承载高定的美学逻辑与工艺深度,又能通过现代工业化手段实现可控的成本与高效的交付。


Part 02从“高定”到“轻高定木作”,是美学升级,也是理想消费分级
不同于目前市场上已有的、由普通定制升级而来的轻高定品牌,OUiKE欧客是承袭顶奢高定基因向下延伸的新品牌。
锚定“比高定降一级、 比传统轻高定高一级”的精准定位 ,致力于实现设计的“平权”、美学的“普及”与价格的“普惠”:
沿用A8空间品牌经过多年验证的产品沉淀 ,降低研发风险、摊薄创新成本 ,凭借“一定三标”(尺寸定制化、部件&工艺&色彩标准化)体系 ,在标准化框架内进行定制化设计,从“个性产品化”向“规模商品化”进化,打破高定价格界限,让高品质木作回归理性消费,追求行业领先的极致颜价比。
遵循系统木作逻辑,构建房门、护墙、系统柜一体化的木作体系,让专属于豪宅的木作标准成为改善型住房的标配,以工业化的精准复刻高定的基因,使居住空间从零散的产品组合,升华为具备长久生命力的艺术容器。
OUiKE欧客从审美、工艺、细节三个维度出发 ,将“轻高定木作”转化为可感知的用户价值。

审美维度:从空间饱和到留白呼吸
在大众的认知里,全屋定制往往陷入“柜子做满”的误区,为了极致的实用与收纳,不惜牺牲空间的生命力 ,导致居住环境因过度充塞而显得压抑呆板。
即将亮相于2026广州定制家居展暨轻高定展的新品系列 ,在满足功能性的基础上,将木作产品视为空间中的艺术品 。在免漆板基础上,融合混油、原木、丝绸布艺等多元材质,跨界引入宾利冰川白与水晶蓝等豪车金属漆工艺,并将朱砂红、故宫红、缙云色等东方国色引入空间色彩体系,以深厚文化根脉叙述现代轻盈的定制艺术。
以克制笔触彰显空间质感,以模块化思维实现场景自由。一体化的空间设计,让建筑、室内、家具与人达成同频呼吸。而打破硬装和软装和之间的界限,将产品形式进行重组并迭代,是高定区别于普定的核心差异。
在客厅,模块化的电视背景收纳系统,从功能设计到材质搭配,暗藏诸多巧思。在材质拼接上,朱砂红色电视柜以油漆工艺为基础,搭配玻璃、布艺等材质,让整体质感层层递进,甚至连玻璃柜门上的拉手,也专门用传统非遗掐丝珐琅、景泰蓝工艺进行打造。
在餐厅,从画廊中汲取灵感、采用艺术画装裱工艺的画框柜,将护墙板、收纳柜和画作进行结合,赋予墙面如名作般的表现力。它不只是用于收纳和展示,更是独立于护墙体系之外的审美坐标。
在厨房,告别沉重压抑的传统到顶吊柜。通过悬浮柜体的视觉留白与光影律动的精密编排,赋予空间通透而自由的呼吸感。

工艺维度:从技术挑战到复杂成型
在工业效率与设计美感之间,很多品牌会为了有效产出而选择前者。面对复杂的弧形或异形结构(如L型一体化包覆工艺),往往通过简化设计来规避出错风险,甚至直接取消。
OUiKE欧客不简化设计,面对复杂的工艺挑战,绝不绕道而行,只为每一个造型都能呈现出最流畅、最原始的设计张力。
此次新品引入如L型EB漆覆贴一体化成型工艺,无畏挑战大曲率弧形、半圆及异形曲面。这些被传统普定视为“交付禁区”的细节,恰恰是OUiKE欧客还原高定质感、构筑产品技术护城河的核心。

细节维度:从材质拼接到无缝视觉
细节决定普定与轻高定的距离。
OUiKE 欧客在细节处理上精益求精:全面实现多元材质的无缝拼接与色彩的一致性,规避市面上常见的“金属条封边”或“异色掩盖”等妥协方案;45°斜切拼接,在视觉体验上更纤薄,收口处更显轻盈,打造精致的极窄边效果。
运用蓝染渐变工艺,通过细腻的色彩处理,呈现自然柔和、层次温润的渐变效果,与现代空间更加贴合;利用EB 电子束固化技术,让平面更细腻……
每一处微小的细节,都在兑现最真挚的品质承诺。

【结语】
OUiKE欧客“轻高定木作”新品的推出,其意义不仅在于单一品牌的产品发布,更在于以品类创新来拓展市场版图,当行业陷入价格内卷时,OUiKE欧客试图通过品类创新跳出红海,将竞争拉回“产品价值”与“审美标准”的主航道。
通过系统化解决方案,让原本属于塔尖阶层的居住体验,以更理性的方式普惠于追求生活质感的改善型家庭,为正处于混沌期的轻高定市场树立了一套可量化的价值参照系。
来源:品牌之家 了解更多 A8空间品牌信息>>>" alt="行业首推“轻高定木作”,OUiKE欧客即将亮相2026广州定制家居展暨轻高定展">行业首推“轻高定木作”,OUiKE欧客即将亮相2026广州定制家居展暨轻高定展
凱蒂·佩芮:做自己
水咲萝拉
喬海峯
节目中主持人提到:“英伟达的巨大成功让无数人的生活都依赖于你,但人固有一死,你会思考自己的终局吗,你会害怕死亡吗?”

对此,黄仁勋表示自己真的不想死,我的生活很美好,有一个很美好的家庭,并且还有非常重要的事做。
但聊到继任者计划的话,自己的态度向来直言不讳,曾公开表示不信任继任者计划,这在业内是出了名的,但并不是因为自己永存不朽。
黄仁勋坦言,自己所希望的结果,是能在工作中突然离世,最好是当场毙命,这样就没有长时间的痛苦了。
展望10年后、甚至百年后的未来,黄仁勋表示自己对人类的能力充满信心,我们会基于正在做的事情推断未来,有太多我们想要解决的难题,例如终结疾病、减少污染等。
黄仁勋还称,我们很快会把一个专属的类人机器人发射到太空,它会在飞行中不断增强。
“等时机成熟,我会将我生命的绝大部分东西(邮件箱、做过的每一件事、说过的话)积累成一个意识AI,然后以光速发射到太空,去追赶之前发射的机器人。”
" alt="黄仁勋罕见谈生死:希望在工作中突然离世 最好当场毙命">黄仁勋罕见谈生死:希望在工作中突然离世 最好当场毙命
楊灝生
WISE 2313-8037
竺麐祥
近日,汉阴县2026年春季退役士兵陆续告别军营、光荣返乡。为扎实做好春季退役士兵返乡服务保障工作,汉阴县退役军人事务局提前谋划、靠前服务,扎实做好报到接收工作,大力营造“参军光荣、退役荣耀”的浓厚氛围。
在汉阴县退役军人服务中心,“光荣返乡、再启新程”“欢迎退伍老兵光荣返乡”等暖心标语格外醒目,一杯热茶、一句问候,让“最可爱的人”第一时间感受到家乡的温暖与尊崇。
汉阴县退役军人事务局严格落实“六个到位”“五个一”工作举措,通过线上平台发布报到须知、明确办事流程,安排专人答疑解惑,切实为退役士兵减负增效。在县退役军人服务中心报到现场,全面推行“一站式”服务,高效完成信息登记、档案接收、关系转接等业务办理,并同步开展优待政策宣讲,围绕就业创业、技能培训、学历提升、社保接续等内容精准解读、现场解惑,截至目前22名返乡士兵完成报到。
下一步,汉阴县退役军人事务局将精准对接退役士兵需求,持续深化服务举措,及时组织开展适应性培训等活动,全力护航退役士兵开启新的征程,为汉阴发展再立新功。
编辑:邱潮
编审:文婷 黄琪雅
终审:邹菲
" alt="汉阴县2026年春季退役士兵 返乡报到工作有序开展">汉阴县2026年春季退役士兵 返乡报到工作有序开展普拉斯林棘鱗魚
森林覆盖率超过30%、各类林业经营主体3万多个、2021年全省林业总产值5092亿元……在我国首个林长制改革示范区安徽省,护绿、增绿、管绿、用绿和活绿协同发力,守住绿水青山的同时,将生态资源优势转化为经济优势,拓展“两山”转化新路径。
茂林修竹间,一条彩色的旅游公路串起林场、农庄和果园,地处江淮分水岭的合肥市长丰县岗集镇青峰岭村,万亩薄壳山核桃已果实累累。这里的丰收美景和田园之乐,让不少城里游客流连忘返。
“今年薄壳山核桃的产量、品质都不错!林下养鸡,林间种油菜,春天你再来看,又是一番美景!”作为当地较早返乡创业的新农人,长丰青峰岭家庭农场负责人王正华亲眼见证了“护绿生金”的变化。
王正华告诉记者,林长制改革以来,山有人管,林有人治,责有人担。村里优化产业结构,将资源变资产,发展现代都市观光农业,产业链条不断延伸。城里游客慕名而来,一到周末,农庄里的十几间精品民宿“一房难求”,优质的特色农产品成了抢手货。
守绿换金,添绿增金。在安徽,5.2万名林长守护着400多万公顷森林和100多万公顷湿地。数据显示,近5年,安徽省造林765万亩,农田林网建成率达73.8%,湿地保护率达51%以上。
森林碳汇、森林旅游、森林康养……安徽立足资源禀赋和区域特点,不断拓展生态产品价值实现途径,统筹推进生态产业化和产业生态化,推动生态资源转化为“富民资本”,绿水青山底色更亮,“金山银山”成色更足。
蓝天下,一望无际的黄金茶顺着丘陵起伏绵延,健身步道、休闲木亭点缀在茶园中,位于安徽省宣城市郎溪县的大佛山养心谷是不少摄影爱好者的网红打卡地。
依托优美的生态环境,郎溪县将盘活林业资源与发展全域旅游相结合,加快与沪苏浙等地的交通基础设施互联互通,描绘生产美、生态美、生活美的乡村振兴新图景。
“我们依托黄金茶标准化种植基地,探索茶旅融合,发展生态+康养产业,将美丽风光变为美丽经济,带动更多的村民走上生态致富路。”郎溪县大佛山养心谷负责人王立胜说。
水岸共治、退渔还湖、退养还湿……从予取予求到反哺自然、尊重自然、人与自然和谐共生,安徽按下生产和生活方式绿色转型“快进键”。
统筹推进山水林田湖草沙一体化保护和系统治理,安徽加快建设长江、淮河、江淮运河、新安江生态廊道,为区域经济发展筑牢生态安全屏障。

图为合肥市肥东县长临河镇十八联圩湿地。新华社记者张端 摄
在安徽省合肥市肥东县长临河镇十八联圩湿地,百鸟争鸣,草木繁茂。随着环巢湖湿地面积的不断增加,生物多样性加快恢复,巢湖生态湿地重现生机。
当地群众告诉记者,这几年生态环境好了,常能看到白琵鹭、豆雁、红嘴鸥等鸟类在这里越冬、栖息,难得一见的东方白鹳也时常飞到巢湖湿地来觅食。

巢湖风光,作为五大淡水湖之一,巢湖是我国生态版图上的一颗明珠。新华社记者张端 摄
青山为笔,碧水为墨,一幅生产发展、生活富裕、生态良好、城乡共美的青绿山水画卷正徐徐展开。
" alt="让生态资源转化为“富民资本”——安徽探索“两山”转化新路径见闻">让生态资源转化为“富民资本”——安徽探索“两山”转化新路径见闻尼克爾森撞擊坑 (火星)

作为爱奇艺全球首家线下乐园,扬州爱奇艺乐园实现了“全龄同乐”,从四五岁孩童到六七十岁长者,均能参与项目体验。乐园收入主要来自门票及二次消费品。与传统室外大型主题乐园不同,爱奇艺乐园采用轻资产模式运营,借助AI、XR等前沿技术深度开发影视IP,为游客打造更具互动感和沉浸感的线下娱乐体验。园内囊括《狂飙》《唐朝诡事录》《莲花楼》《大话西游》等多个热门IP,核心体验项目涵盖沉浸舞台演艺、全感剧场、光影互动空间、角色即兴互动等七大板块,并设有众多影视名场面打卡点。根据抖音、携程、美团、大众点评等平台上的评分,扬州爱奇艺乐园评分均超4.8分,用户反响热烈,口碑持续攀升。

爱奇艺体验业务由爱奇艺乐园及IP消费品组成,是爱奇艺围绕核心IP资产,对“一鱼多吃”商业模式的有效扩展。扬州3、4月是旅游旺季、全年还有五一小长假、7-8月暑期、十一长假等,随着乐园运营效率的提升,以及针对核心受众的精准营销与转化效率的持续优化,龚宇预估单日峰值收入还有1-2倍的增长空间。

在IP消费品业务方面,爱奇艺已于2025年完成自营核心团队组建,业务模式从原先的单一授权向“自营+授权”并重转变。龚宇透露, 2026衍生品会做更多品类自营,预计至少100%以上的收入增长。数据显示,春节假期期间,“十个勤天”后陡门行李牌、《莲花楼》食色扬州系列亚克力冰箱贴、《书卷一梦》梦里啥都有主题收藏卡、《莲花楼》无尽夏系列棉花娃娃盲盒跻身扬州爱奇艺乐园开园至今周边销量前五。

从全球视野来看,线下体验业务正成为文娱巨头的重要增长极。根据Research and Markets发布的《Amusement Parks Market Report 2026》,2026年全球主题乐园市场规模预计达1008亿美元(约合人民币7300亿元),同比增长3.4%。迪士尼2026年第一财季财报显示,其体验业务(含主题乐园、邮轮等)季度收入首次突破100亿美元,运营利润33.1亿美元,占公司总运营利润的72%。这印证了“IP+体验”模式的巨大商业潜力。
扬州爱奇艺乐园的正式开业标志爱奇艺的体验业务迎来了里程碑时刻。依托丰富的IP资源储备,爱奇艺在巩固内容护城河之外,正瞄准IP的长线价值,逐步构建起从内容到线下体验再到二次消费的商业闭环。随着2026年乐园业务稳步开展,体验业务有望成为爱奇艺新的增长引擎,为长视频行业在线下寻找商业增量空间开辟新航向。
" alt="扬州爱奇艺乐园新年开门红 龚宇预计单日峰值收入还有1">扬州爱奇艺乐园新年开门红 龚宇预计单日峰值收入还有1莫朗库尔
3月8日,汉阴县奕林棋苑2026年第一季度内部联谊赛在城关镇月南区域养老服务中心举办。旨在以棋为媒、以赛传情,让棋友切磋技艺、长者乐享生活,在方寸棋盘间奏响文明和谐的乐章。
活动现场氛围温馨而热烈。参赛棋手们精神饱满、沉着应战,在楚河汉界之上排兵布阵、运筹帷幄,车马纵横、落子从容。大家秉持“友谊第一、比赛第二”的原则,凝神对弈、切磋交流,清脆的落子声与阵阵笑语交织,尽显棋艺魅力与人文温度。
城关镇月南区域养老服务中心作为汉阴县首家区域养老服务中心,聚焦“15分钟养老服务圈”建设,为周边社区老人提供助餐、助医、文娱等多元服务,是长者安心乐享晚年的温馨家园。奕林棋苑以此次联谊赛为契机,走进养老服务中心,既丰富了棋苑内部交流形式,也为老年生活增添乐趣,践行社会责任,传递敬老爱老的文明新风。
编辑:邱潮
编审:文婷 黄琪雅
终审:邹菲
" alt="汉阴:以棋会友暖夕阳 弈趣横生享时光">汉阴:以棋会友暖夕阳 弈趣横生享时光金線藍子魚
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母亲节来临之际,5月8日上午,“红五月·梦豫园”——“妈妈集市”义卖活动就在豫园商城黄金广场开张了。

图说:“妈妈集市”吸引了许多市民游客 记者 周馨/摄(下同)
一早,参与义卖的摊位就纷纷到场了。爱心商家们纷纷拿出招牌热卖商品,文创产品、精美首饰、非遗扇子灯笼、绒线花艺术品……还有,来自巾帼文明岗—黄浦香山中医医院团总支的中药扎染,看得人眼花缭乱,低廉的价格、优良的品质,吸引市民游客纷纷解囊,活动现场暖意涌动。
公益互动区,吹糖人、糖画、棉花糖等非遗项目,引来市民游客驻足观看,这可是“妈妈集市”最受小朋友们喜爱的保留节目。
糖锅里,麦芽糖和冰糖一点点融化,金黄色的糖稀香甜浓稠,80后王晓凤和85后王磊是姐弟俩,也都是吹糖人非遗项目传承人,现场展示了吹糖人技艺。挑起糖稀,轻轻吹一吹捏一捏,一只小海豚!再吹一个,宝葫芦!还要一个,哇,小朋友们最喜欢的小兔子!
精湛技艺,看得市民游客纷纷喝彩,甜蜜蜜的糖人糖画带回家,就当“母亲节”的礼物献给妈妈!

“一个亮点是,今年的‘妈妈集市’既有爱心商户参与,又联动了黄浦区历届三八红旗手、巾帼建功标兵等先进女性。”黄浦区妇联主席王艳说。“妈妈集市”丰富义卖商品,扩大爱心半径,凝聚起更多“她”力量。今天,“妈妈集市”还推出了“黄浦妈妈讲故事”的项目,上海和普洱两地帮扶结对,为普洱留守儿童带去母爱的温暖和故事的陪伴。
“红五月·梦豫园”主题活动始于2016年。“多年来,广大爱心商户不改公益初心,延续爱心传统,定向资助社区困难妇女和儿童,已累计向40名困难妇女(儿童)发放帮扶款3万元,为母亲节和国际家庭日增添了温馨与感动。”豫园街道党工委书记邵泉说。“妈妈集市”是豫园商圈党建联建的生动实践,吸引来自全国和世界各地的游客,努力成为申城家庭文明、妇女儿童友好的展示窗口。
记者 姚丽萍
新民特写|“妈妈集市”,空气中都是香甜的味道
盖戈里
龙苏瓦
高嶋政宏
某高校推出1元菜3块钱学生就能吃饱 堪称最实在的高校食堂
水咲萝拉
埃盧魯
硬盘人
随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用">DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用2026-06-29 21:09